Ροή διαδικασίας χάραξης

1. Καθαρισμός βάσης

Χρησιμοποιούνται υπερήχοι, επεξεργασία με διάλυμα οξέος/αλκαλίου (όπως καθαρισμός RCA), καθαρισμός πλάσματος και άλλες μέθοδοι για την απομάκρυνση των επιφανειακών ρύπων (λάδι, σωματίδια, στρώμα οξειδίου).

2.

Περιστρέψτε την επικάλυψη για να σχηματίσετε ένα ομοιόμορφο στρώμα φωτοανθεραπείας, προ -ψήνετε για να αφαιρέσετε τους διαλύτες και να ενισχύσετε την πρόσφυση.

3. Έκθεση και ανάπτυξη

Έκθεση: Χρησιμοποιώντας μια μάσκα για ακτινοβολία με υπεριώδη φως, βαθύ υπολειπόμενο φως ή ακραίο υπεριώδες φως για να προκαλέσει μια φωτοχημική αντίδραση στο φωτοαντιγραφικό.

Ανάπτυξη: Διαλύστε την εκτεθειμένη περιοχή (θετική πηκτή) ή μη εκτεθειμένη περιοχή (αρνητική πηκτή) με αναπτυσσόμενη λύση για να εκθέσει την περιοχή που θα χαθεί.

4. Χάραξη

Υγρή χάραξη: Βυθίστε το υπόστρωμα σε διάλυμα χάραξης ή να το επεξεργαστείτε με ψεκασμό.

Η ξηρή χάραξη: ένα αντιδραστικό αέριο (όπως το cl ₂, cf ₄) εισάγεται σε ένα θάλαμο κενού για να διεγείρει το πλάσμα για χάραξη.

5. Αφαιρέστε την απογύμνωση των φωτοανθεκτικών

Υγρή ζελατινοποίηση: Χρησιμοποιήστε διαλύτες όπως ακετόνη, Ν-μεθυλοπυρρρολιδόνη (NMP) ή ισχυρά οξέα/οξειδωτικά (όπως H ₂ SO ₄+H ₂ O ₂).

Ξηρή ζελατινοποίηση: πλάσμα οξυγόνου, αποδοτικό και χωρίς υπολείμματα.

6. Δημοσίευση και επιθεώρηση

Καθαρισμός: Αφαιρέστε τα παραπροϊόντα και τα υπολειπόμενα αντιδραστήρια.

Ανίχνευση: Αναλύστε τη μορφολογία της, μετρήστε το μέγεθός της και διεξάγετε ηλεκτρικές δοκιμές μέσω σάρωσης μικροσκοπίου.