Η διαδικασία της μεταλλικής χάραξης

Ένα από τα βασικά βήματα στην ενσωματωμένη παραγωγή κυκλώματος είναι να αφαιρέσετε το στρώμα λεπτού φιλμ που δεν καλύπτεται από την αντίσταση και να αποκτήσετε ένα μοτίβο στο λεπτό φιλμ που είναι εντελώς συνεπές με την ταινία αντίστασης.
Στη διαδικασία κατασκευής των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, μια σειρά από λεπτές λειτουργίες, όπως η ευθυγράμμιση της μάσκας, η έκθεση και η ανάπτυξη, απαιτούνται πρώτα για να αναπαράγουν με ακρίβεια το επιθυμητό μοτίβο στην ταινία αντίστασης . Επιπλέον, οι δοκοί ηλεκτρονίων υψηλής ακρίβειας μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν άμεσα για να σχεδιάσουν το επιθυμητό μοτίβο στην ταινία αντίστασης {{2}
Μετά την ολοκλήρωση αυτού του βήματος, το μοτίβο μεταφέρεται αμέσως στο διηλεκτρικό λεπτό φιλμ (όπως το οξείδιο του πυριτίου, το νιτρίδιο του πυριτίου, το πολυκρυσταλλικό πυρίτιο) ή το μεταλλικό λεπτό φιλμ (όπως το αλουμίνιο και τα κράματα του) κάτω

Η διαδικασία χάραξης διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο σε αυτή τη διαδικασία, αφαιρώντας επιλεκτικά το απροστάτευτο στρώμα λεπτού φιλμ μέσω χημικών, φυσικών ή ενός συνδυασμού και των δύο μεθόδων, σχηματίζοντας ένα μοτίβο στο λεπτό φιλμ που είναι πανομοιότυπο με εκείνη της ταινίας αντίστασης .Ο πυρήνας της τεχνολογίας χάραξης έγκειται στην εκλεκτικότητα της, δηλαδή μόνο η αφαίρεση των τμημάτων που δεν καλύπτονται από την αντίσταση, διατηρώντας τα μέρη που προστατεύονται από την αντίσταση.
Η τεχνολογία χάραξης χωρίζεται κυρίως σε δύο τύπους: ξηρή χάραξη και υγρή χάραξη .Η ξηρή χάραξη χρησιμοποιεί κυρίως αντιδραστικά αέρια και πλάσμα για χάραξη, ενώ η υγρή χάραξη επιτυγχάνει κυρίως τη χάραξη μέσω χημικών αντιδράσεων μεταξύ των χημικών αντιδραστηρίων και του υλικού που χαράσσεται, συνήθως σε ένα υγρό περιβάλλον, χρησιμοποιώντας χημικά διαλύματα για να διαλύουν επιλεκτικά υλικά λεπτού φιλμ.}}}}}}}
Αυτές οι δύο μέθοδοι χάραξης έχουν τα δικά τους πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα . σε πρακτικές εφαρμογές, θα πρέπει να επιλεγούν και να βελτιστοποιηθούν σύμφωνα με συγκεκριμένες ανάγκες για να διασφαλιστεί ότι το τελικό λεπτό πρότυπο που λαμβάνεται ικανοποιεί τις απαιτήσεις σχεδιασμού.}