Ιδανικά χαρακτηριστικά διαδικασίας χάραξης

Η ιδανική διαδικασία χάραξης θα πρέπει να έχει τα ακόλουθα βασικά χαρακτηριστικά για να πληροί τις απαιτήσεις υψηλής ακρίβειας της παραγωγής ημιαγωγών και άλλων πεδίων επεξεργασίας μικροδιανίας:

① Anisotropic χάραξη, που σημαίνει μόνο κατακόρυφη χάραξη χωρίς πλευρική διάτρηση . μόνο με αυτόν τον τρόπο μπορούμε να διασφαλίσουμε την ακριβή αντιγραφή των γεωμετρικών σχημάτων ταυτόσημων με εκείνα που βρίσκονται στην αντίσταση στην χαραγμένη μεμβράνη.
② Η καλή επιλεκτικότητα της χάραξης σημαίνει ότι ο ρυθμός χάραξης της αντίστασης που χρησιμοποιείται ως μάσκα και το υποκείμενο λεπτό φιλμ ή υλικό είναι πολύ χαμηλότερο από αυτό του χαραγμένου λεπτού φιλμ, για να εξασφαλιστεί η αποτελεσματικότητα της αντοχής κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης και να αποτρέψει τη ζημιά σε άλλα υλικά κάτω από το λεπτό φιλμ λόγω υπερβολικής χαράς.
③ Μεγάλες παρτίδες επεξεργασίας, εύκολος έλεγχος, χαμηλό κόστος, ελάχιστη περιβαλλοντική ρύπανση, κατάλληλη για βιομηχανική παραγωγή .